半导体行业对于特种气体气源柜的分析

    用于半导体工业的特种气体，又称电子气，在半导体器件临盆进程中由气源柜掌握与保送。近几年来，跟着我国超范围集成电路、平板显示器、光伏发电等家当的敏捷成长，电子气市场需求显著增加，关于气源柜的需求愈来愈年夜。若何在包管气源的应用平安的条件下，进步临盆效力，便利客户操作，是特种气体气源柜设计的症结。

    依据特种气体的性质，应用情况，停止气源柜的研发，重点研讨半导体行业特种气体气源柜的整体计划设计，包含全体产物的设计构想，整体结构，气体防泄露设计，惰性气体掩护设计，肯定了零件的构造组成；增长了高压持续吹扫体系，选用主动焊接工艺停止管线衔接，增强密封掩护办法，在平安性和外不雅性方面同时改良，使其顺应市场的需求；应用气体流量盘算，负气源输入气体更精准；针对气体特别性质，停止真空测试和压力测试和靠得住性实验与剖析，处理了该产物难点，并终究到达设计请求，成为国际半导体行业中的抢先产物。