大连八方流体技术有限公司

Dalian Putfine Fluid Technology Co.,Ltd

服务热线:

0411-84352062

祥云平台

新闻资讯

联系我们

公司名称:大连八方流体技术有限公司

联系人:王军  

手机:13998605122

座机:0411-84352062

邮件:bffm@163.com

邮码:116037

地址:辽宁省大连市甘井子区姚工街171号


扩散炉和气源柜设备一级保养计划是什么

您的当前位置: 首 页 >> 新闻资讯 >> 行业新闻

扩散炉和气源柜设备一级保养计划是什么

发布日期:2016-02-20 00:00 来源:http://www.putfine.com 点击:

气源柜


扩散炉和气源柜设备一级保养计划是什么

一  制绒机与二次清洗机

1)检查管路是否泄漏。气管是否漏气。

2)检查机械臂挂钩是否紧固。

3)检查排液管道是否通畅。

4)手动点检各气动阀门是否能正常工作。

5)检查泵头管路是否被堵死。

6)检查排液和进液气动阀是否能正常工作,是否存在关不严的现象。

7)每班清理槽盖上的碎片,碱等。

8)检查机械臂运行是否平稳。

9)每次排水后应检查进出水口是否堵塞,及时清理残留物,以免管道堵塞物越积越多,反而造成以后的管道维修工作量加大。

10)停机前把设备槽里的液体排掉。

11)每次停机前清洗设备内外。

12)经常检查过滤减压阀中是否存储过量的水,必要时将其排除。


二  扩散炉

1)设备的工作环境应长期保持清洁、干躁,净化工作台、气源柜应经常擦抹,保持扩散环境及工艺片不受污染。

2)操作员每天下班前半小时,必须将扩散炉托盘等机械上的偏磷酸等杂物用异丙醇擦洗干净。

3)炉体柜的废气室及净化操作台上的工艺废液要随时擦除,以防止对人员及设备造成损害。

4)操作员每天下班前半小时,需将炉口、炉门、炉尾工作台上的杂物清洗干净,

5)操作员需每天清洁机器底下面的垃圾灰尘。

6)操作员每天交接班时需检查各气体压力是否达到要求。压缩空气0.6Mpa,高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值(气源柜减压阀表读数)均应在0.35~0.45Mpa 之内,有异常及时向上级报告和处理。

7)操作员每天接班时需检查冷却水是否正常(把进出水阀一关一开,听其是否有水声)。

8)操作员需每天检查气源柜内的尾气废液排放情况,并及时清理和清洗排气管内的残留液,防止由于废液凝结而堵塞排放管道。

9)发现机器内部有异常响声或异常味道及时向上级报告和处理。

10)在相隔一天以上的工艺之间(或者只白天做工艺,晚上不工作),可不必停炉而设置保温,炉子最佳保温温度为500~600℃,这样可延长加热器的使用寿命。

11)设备长期不使用时,应该每隔一星期通电运行一次,防止器件受潮失效。


三  刻蚀机

1)每天用酒精棉擦拭反应室里面。

2)每天检查反应室门是否贴合。

3)经常清理设备表面及底下的灰尘及脏物。


四  甩干机

1)检查氮气压力是否正常

2)检查加热油液位是否正常,是否会漏油。

3)检查运行时是否有震动或者异响。

4)及时清理里面的碎片。

5)每天运行前检查里面金属条是否掉落,螺丝是否松动。

6)经常清洁设备。


五  PECVD

1)每天下班前要清理炉口及炉内的碎片。

2)经常对设备内部,表面,底部清理。

3)经常注意工艺冷却水温度及氮气压力。

4)检查排风是否正常。

5)检查炉口舟感应开关是否正常。

相关标签:配气柜厂家

@版权所有:Copyright ©http://www.putfine.com/ 大连八方流体技术有限公司 专业从事于配气柜厂家,气体纯化装置,供气系统管路安装, 欢迎来电咨询!
辽ICP备18006945号-1  Powered by 祥云平台  技术支持:云网(大连)信息技术有限公司
主营区域:
欢迎给我们留言
请在此输入留言内容,我们会尽快与您联系。
姓名
联系人
电话
座机/手机号码