扩散炉和气源柜设备一级保养计划是什么

扩散炉和气源柜设备一级保养计划是什么

一  制绒机与二次清洗机

1）检查管路是否泄漏。气管是否漏气。

2）检查机械臂挂钩是否紧固。

3）检查排液管道是否通畅。

4）手动点检各气动阀门是否能正常工作。

5）检查泵头管路是否被堵死。

6）检查排液和进液气动阀是否能正常工作，是否存在关不严的现象。

7）每班清理槽盖上的碎片，碱等。

8）检查机械臂运行是否平稳。

9）每次排水后应检查进出水口是否堵塞，及时清理残留物，以免管道堵塞物越积越多，反而造成以后的管道维修工作量加大。

10）停机前把设备槽里的液体排掉。

11）每次停机前清洗设备内外。

12）经常检查过滤减压阀中是否存储过量的水，必要时将其排除。

二  扩散炉

1）设备的工作环境应长期保持清洁、干躁，净化工作台、气源柜应经常擦抹，保持扩散环境及工艺片不受污染。

2）操作员每天下班前半小时，必须将扩散炉托盘等机械上的偏磷酸等杂物用异丙醇擦洗干净。

3）炉体柜的废气室及净化操作台上的工艺废液要随时擦除，以防止对人员及设备造成损害。

4）操作员每天下班前半小时，需将炉口、炉门、炉尾工作台上的杂物清洗干净，

5）操作员需每天清洁机器底下面的垃圾灰尘。

6）操作员每天交接班时需检查各气体压力是否达到要求。压缩空气0.6Mpa，高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值（气源柜减压阀表读数）均应在0.35～0.45Mpa 之内，有异常及时向上级报告和处理。

7）操作员每天接班时需检查冷却水是否正常（把进出水阀一关一开，听其是否有水声）。

8）操作员需每天检查气源柜内的尾气废液排放情况，并及时清理和清洗排气管内的残留液，防止由于废液凝结而堵塞排放管道。

9）发现机器内部有异常响声或异常味道及时向上级报告和处理。

10）在相隔一天以上的工艺之间（或者只白天做工艺，晚上不工作），可不必停炉而设置保温，炉子最佳保温温度为500～600℃，这样可延长加热器的使用寿命。

11）设备长期不使用时，应该每隔一星期通电运行一次，防止器件受潮失效。

三  刻蚀机

1）每天用酒精棉擦拭反应室里面。

2）每天检查反应室门是否贴合。

3）经常清理设备表面及底下的灰尘及脏物。

四  甩干机

1）检查氮气压力是否正常

2）检查加热油液位是否正常，是否会漏油。

3）检查运行时是否有震动或者异响。

4）及时清理里面的碎片。

5）每天运行前检查里面金属条是否掉落，螺丝是否松动。

6）经常清洁设备。

五  PECVD

1）每天下班前要清理炉口及炉内的碎片。

2）经常对设备内部，表面，底部清理。

3）经常注意工艺冷却水温度及氮气压力。

4）检查排风是否正常。

5）检查炉口舟感应开关是否正常。