半导体行业特种气体气源柜研发

    用于半导体工业的特种气体,又称电子气,在半导体器件生产过程中由气源柜控制与输送。近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气市场需求明显增长,对于气源柜的需求越来越大。如何在保证气源的使用安全的前提下,提高生产效率,方便客户操作,是特种气体气源柜设计的关键。 论文根据特种气体的性质,使用环境,进行气源柜的研发,重点研究了半导体行业特种气体气源柜的总体方案设计,包括整体产品的设计构思,总体布局,气体防泄漏设计,惰性气体保护设计,确定了整机的结构构成；增加了低压连续吹扫系统,选用自动焊接工艺进行管线连接,加强密封保护措施,在安全性以及外观性方面同时改善,使其适应市场的需求；运用气体流量计算,使气源输出气体更精准；针对气体特殊性质,进行真空测试和压力测试和可靠性试验与分析,解决了该产品难点,并最终达到设计要求,成为国内半导体行业中的领先产品。

    一种减压扩散炉本实用新型公开了一种减压扩散炉。为了提高电池片效率，增加扩散均匀性，所述减压扩散炉包括炉体柜和气源 柜，以及设置在炉体柜内与气源柜连通的反应管；所述反应管的尾气出口与一使反应管内保持负压状态的减压系统相连。本实用新型减压扩散炉采用高温负压工艺， 可提高电池片扩散均匀性，并防止高温负压工艺的污染，以及对设备仪器的腐蚀。

   一种柔性扩散炉本实用新型公开了一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接，本实用具有结构简单、操作方便、扩散效率高等优点。