在线配气装置的技术参数

技术参数

1、混气装置：采用异形气体混合仓与气体扰流板技术

2、控制系统：全自动控制，并可对配气方案进行程序控制，实现流量、使用气体、使用时间的随意编程

3、气路系统：使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式，使系统耐腐蚀、气密性好

4、气路控制系统：使用日本SMC电磁阀，并为每个气路设置单向阀，已防止气体逆行，所有电磁阀均由软件控制

5、配气方案：可根据求，实现对每组气体的流量进行编程调整，即流量的多段控制

6、应用气体：氨气、氮气、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪气、氯化氢、氧气、氢气、一氧化氮、一氧化碳等

7、流量控制：0-200毫升/分钟、100-500毫升/分钟、500—1000毫升 /分钟可选

8、工作压差：(0.1 ~ 0.5)  MPa

9、工作耐压：3  MPa

10、重复精度：±0.2  %

11、工作精度：±1  %

12、工作温度：5 ℃ ~ 45 ℃

大连八方流体技术有限公司以全面、细致、周到的技术服务为企业核心，专业从事为普、特气体的供气系统及控制设备提供研制开发、制造安装等技术服务。并为国内外知名品牌的产品提供代理及相关的技术服务。其业务范围涵盖半导体、航天、制药、工业制造、化工、科研试验及检测机构等广泛领域。所研发生产、代理选择的产品和提供的相关技术服务包括：半导体、微系统制造研究、科研机构和试验检测机构、工业制造业用自动、半自动和手动控制的各种供气系统、汇流排、吹扫切换装置、气源柜、还原中和装置、流量控制装置及管理控制设备等；专业气体公司用高精度（ppm级）特气配气装置及相关流量调节装置、真空成套设备、自动计量测控系统等。