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气源柜产品简介及主要技术特点

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气源柜产品简介及主要技术特点

发布日期:2015-07-10 00:00 来源:http://www.putfine.com 点击:

气源柜4.jpg


    用于半导体工业的特种气体,又称电子气,在半导体器件生产过程中由气源柜控制与输送。近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气市场需求明显增长,对于气源柜的需求越来越大。如何在保证气源的使用安全的前提下,提高生产效率,方便客户操作,是特种气体气源柜设计的关键。 论文根据特种气体的性质,使用环境,进行气源柜的研发,重点研究了半导体行业特种气体气源柜的总体方案设计,包括整体产品的设计构思,总体布局,气体防泄漏设计,惰性气体保护设计,确定了整机的结构构成;增加了低压连续吹扫系统,选用自动焊接工艺进行管线连接,加强密封保护措施,在安全性以及外观性方面同时改善,使其适应市场的需求;运用气体流量计算,使气源输出气体更精准;针对气体特殊性质,进行真空测试和压力测试和可靠性试验与分析,解决了该产品难点,并最终达到设计要求,成为国内半导体行业中的领先产品。


产品简介: 

    气源柜/气瓶架采用国际通行的质量标准及工作原理,保证高纯易燃易爆腐蚀有毒气体安全地为相应的设备提供工艺气体。 

功能:正常工艺供气、换瓶的抽空回充、工艺结束的排空回充及正常使用的工作状态指示、异常报警(如负压异常、泄露、烟雾火等等)及相应的安全关联响应等。排空一般采用的是文丘里原理(根据客户要求可采用真空泵排空方式等)。 

    气瓶柜装有安全防爆玻璃,气路管件均采用进口优质的管道(EP级SWAGELOK自动轨道焊接等)、阀门、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ,泄漏检测、延误火报警均采用优质品牌。


主要技术特点 

◆按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架) 

◆按气体分类:气源柜(易燃易爆腐蚀有毒高纯气体)、气瓶架(高纯气体,如高纯氧气、氩气等) 

◆完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)、烟雾、火报警等 

◆控制方式:“触摸屏+PLC”全自动控制(含手动控制) 

◆气路管件:全部进口,管道为EP级(CARDINAL/SANDVIK)、 阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、减压阀为PARK或相当、全部VCR接口及自动轨道焊接 

◆气瓶柜留有排气口,并具有负压检测 

◆气路设计合理完善,工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能 

◆气瓶柜内装有气瓶称重装置,可即时观察气瓶重量


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