气体控制系统--气源柜

气体控制系统：气源柜

    气源柜分为五层。顶部设置有排毒口， 用以排除在换源 过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口， 接口以下安装有减压阀、截止阀， 用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、 气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部装有质量流量（MFC）控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。

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    气源柜作为等离子刻蚀、化学气相沉积、金属溅射、实验室检测设备等的工艺气供气气源装置，适合于输送高纯、有毒、易燃易爆、具有一般腐蚀性的介质。根据不同使用要求可配置为手动、自动控制方式，及高沸点介质加温装置。 贮气罐 适用于贮存具有高纯、有毒、易燃易爆、一般腐蚀性的半导体工艺气、混合气、标样气等。

产品详细描述：

产品标题： 气源柜 贮气罐

产品价格： 面议

所属分类： 高纯特气供气系统

所属行业： 气相色谱仪

关 键 词： 易燃易爆气体,混合气标准气标样气取样瓶,易燃易爆气体