配气装置的自动配气系统

工作原理

计算机自动配气装置原理： 

本系统操控平台对配气方案实行科学化、自动化定制，并以专用通讯电缆与计算机自动配气系统主机相连，最终通过实时监控高精度的质量流量控制器MFC来控制稀释气体及组份气体的体积流量，从而实现动态配气自动化。

自动配气装置： 

本系统主要功能分为以下几个模块： 

1.系统模块 

系统模块包括用户登录、注销、修改密码、退出系统以及设置MFC参数等功能。 

2.管理模块 

管理模块实现系统的日常管理工作以及本系统使用时所涉及的气体、钢瓶的管理，包括用户管理、日志管理、气体管理、钢瓶管理、渗透气体管理。 

①用户管理： 

实现对使用本系统的用户进行管理，可以新增用户、修改用户资料、从系统中删除用户，以及对用户进行权限分级，不同级别的用户拥有不同的操作权限。 

②日志管理： 

可对本系统的运行日志进行多条件组合查询并可进行数据整理，运行日志分为通讯日志和操作日志。 

③气体管理 

详列常用的各种气体相应物理特性,可新增新种气体并设置其相应的物理特性。 

④钢瓶管理 

可对配气操作过程中将被使用的气体钢瓶进行设置定义。 

⑤渗透气体管理 

可对按渗透法配气的气体进行设置定义。 

3.配气模块 

配气模块实现计算机自动配气操作并实时监视其工作状态。分为渗透模式、流量模式、浓度模式、分配模式、程序模式、清扫模式。 

①渗透模式： 

提供一个按渗透法进行混合配气的配气方案。可通过设定渗透气体的浓度，达到渗透气体的浓度配比，并实时监视配气的实际情况。 

②流量模式： 

按直接设定各路气体流量方式配气，并实时反馈对应气体的流量信息。 

③浓度模式： 

按设定所需成份气体的目标浓度和气体总流量方式配气，并实时反馈对应成份气体的浓度信息。 

④分配模式： 

提供一个自动的气体多点稀释方案。它可实现将两种气体混合稀释为不同的多种浓度配比并分别保证一定的输出时间，实时监视各浓度配比的实际情况。 

⑤程序模式： 

制定综合配气计划。允许将各基本模式(渗透模式、流量模式、浓度模式、分配模式)组合一起形成操作序列。各个操作序列按照规定的时间顺序完成。 

⑥清扫模式 

执行质量流量控制器的清扫操作。

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