关于气体纯化装置的纯化工艺流程

气体纯化装置其纯化工艺流程：以99.9%氮气为原料，采用燃烧法直接除去氧杂质。将99.9%氮气通入装有3093型脱氧剂的脱氧塔，在350℃下氧气中的氧与脱氧剂上的碳发生氧化(燃烧)反应生成二氧化碳，从而完全除去氧杂质。 本装置由流量计、电磁阀、热交换器、脱氧塔、干燥塔、管道气动阀、水冷却器及控制系统组成。由可编程序控制系统按设定程序控制电磁阀管道气动阀及电加热温度自动控制，从而实现全自动操作，同时设有气体故障和冷却水故障报警、停机装置。通常适用于含有杂质氧气≤0.1%的氮、二氧化碳等气体进行脱氧处理，可以获得高纯气体产品。

该装置包括加热器、催化氧化器、水冷却器、第一高效脱氧器、第二高效脱氧器和分子筛吸附器等结构，原料气首先进入加热器加热，然后进入催化氧化器中催化氧化，之后经催化氧化的气体进入水冷却器中与冷却水进行热交换，接着进入第一高效脱氧器或第二高效脱氧器脱除氧气，然后进入分子筛吸附器中吸附，最后进行检测，如果检测合格，则得到超高纯气体，本发明结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理，深度纯化原料气体，除去普通气体中的C5以上烃类组分，达到超高纯级别，满足特殊仪器的用途，实现了超高纯气体的批量化生产，提升净化效率，增加超高纯气体的产量。