气体氮气纯化装置操作规程

    高纯氮氩气主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等金属保护。气体纯化装置电子化工，电光源，医学科研等领域，高纯气体纯化器服务于光伏产业高纯保护气氛，满足色谱，光谱，质谱等现代仪表需要

    气体纯化装置气瓶在安装前如果未经过氮气置换，均须经过氮气置换；置换后容器中（气瓶或空压机）的氮气中其它易燃气体含量不得超过3%；置换必须彻底，防止死角末端残留余气；置换结束，系统内天然气等其它易燃气体的含量必须连续三次分析合格；空气压缩机在开机前、停机后均需进行氮气置换。

    气体纯化装置在空气中含有的0.932%的氩，沸点在氧、氮之间，在空分装置上塔的中部含量最高，叫氩馏分。在分离氧、氮的同时，将氩馏分抽出，进一步分离提纯，也可得到氩副产品。对全低压空分装置，一般可将加工空气中30%～35%的氩作为产品获得(最新流程已可将氩的提取率提高到80%以上)；对中压空分装置，由于膨胀空气进下塔，不影响上塔的精馏过程，氩的提取率可达60%左右。但是，小型空分装置总的加工空气量少，所能生产的氩气量有限，是否需要配置提氩装置，要视具体情况确定。