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八方流体浅析气源柜的基本知识简介

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八方流体浅析气源柜的基本知识简介

发布日期:2017-01-11 00:00 来源:http://www.putfine.com 点击:

气源柜


气源柜的基本知识简介

    气源柜分为五层。顶部设置有排毒口, 用以排除在换源 过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口, 接口以下安装有减压阀、截止阀, 用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路,各层分别装有相应的电磁阀、 气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部装有质量流量(MFC)控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。

    

    一种微电子气源柜吹扫系统,主要由供气管路系统和吹扫管路系统组成,其中供气管路系统用于工艺气体的供给,吹扫管路系统用于整个管路残留气体的吹扫,为不同工艺气的置换提供前提。吹扫系统的供气管路系统端部与吹扫管路系统相连通,同时吹扫管路系统为低压气体输送管路与高压气体输送管路并联组成,并通过同一高压三通截止阀与吹扫气供应口相连接。供气管路系统和吹扫管路系统各连接排气管路。该吹扫系统主要用于高纯或超高纯气体或半导体制造业特种气体的配制、置换和输送。

    

    一种封闭式特种柜,它由柜体、柜门、控栓、手柄、护门、控扣、、推拉杆、扣环控制总成等组成。其特征在于,芯不裸露在外面柜门内装有左、右舌及扣环,柜门不易被撬损,克服了一般柜或配制后就可打开柜门的缺陷,且结构简单,安装维修方便,使用安全,可靠,适用于金融、财会部门特别适用于广大农村站使用。

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