电子气用于半导体工业的特种气体，应用平安的条件下，便利客户操作

    电子气用于半导体工业的特种气体，应用平安的条件下，便利客户操作

    用于半导体工业的特种气体，又称电子气，在半导体器件临盆进程中由气源柜掌握与保送。近几年来，跟着我国超年夜范围集成电路、平板显示器、光伏发电等家当的敏捷成长，电子气市场需求显著增加，关于气源柜的需求愈来愈年夜。若何在包管气源的应用平安的条件下，进步临盆效力，便利客户操作，是特种气体气源柜设计的症结。

    论文依据特种气体的性质，应用情况，停止气源柜的研发，重点研讨了半导体行业特种气体气源柜的整体计划设计，包含全体产物的设计构想，整体结构，气体防泄露设计，惰性气体掩护设计，肯定了零件的构造组成；增长了高压持续吹扫体系，选用主动焊接工艺停止管线衔接，增强密封掩护办法，在平安性和外不雅性方面同时改良，使其顺应市场的需求；应用气体流量盘算，负气源输入气体更精准；针对气体特别性质，停止真空测试和压力测试和靠得住性实验与剖析，处理了该产物难点，并终究到达设计请求，成为国际半导体行业中的抢先产物

质量和数量

    要求具有相当高的可靠系数。通常情况下，测试处理机日以继夜地连续运转。由于元件数量巨大，这样一台测试处理机每小时要为检测系统供给28000个元件，因此任何停工成本都是巨大的。鉴于此，我们仍然需要对这类设备进行持续改进，除可靠性外，易于维修也是一个非常重要的因素。

    装配操作的成本压力也是Multitest面临的又一大挑战。把许多气源处理元件连接起来以使气源处理系统运作起来是一项很费时的工作。为了改善这种情况，Multitest与Festo的系统工程小组密切合作，寻求提高MT 9928项目装配效率的最佳方案。

整理气动元件

    由于气源处理应用场合的模块化结构以及多样化（如也可用于洁净室），以往总是在气源下游直接把气源处理单元、整套减压阀、过滤器和阀安装在设备上面。为了便于维修，通过安装在设备多个不同位置处的压力表可以读取压力值。因此，必须安装大量气管，这增加了安装成本且需要更大的安装空间。

    在本套解决方案中，将气源处理和进给系统中的所有重要元件集中在一个主要的模块中，可以通过控制计算机进行监测并且可以进行集中切换操作。Festo提供的这一模块是完全预装配好的，所有线路和气管都已安装好，即插即用，减少了工作量。各个模块需要多种不同的压力，这通过系统中的标准接口均可实现。

    Festo采用集成技术，为客户订制了一种类似于气路板性质的元件：在两块铝板之间是一块塑料板，塑料板上包含所有的进气管线，各进气管线连接至相应的气动元件。该方案与印刷电路板上的电子模块排列相似，所不同的是紧密排列的是气路管线，而非半导体元件。

    在Festo的这一方案中，无须独立的整套气管系统，因此大大减少了公司的装配工作量。由于元件比较密集，功能可靠性高，在这种密集型配置中可避免弯曲复杂的管路系统。

    MT 9928型测试处理机中的接触式控制盒即为这样一种配置。需要在有限的空间内安装多个阀和气缸。受空间所限，传统的气管配置方式已不再适用，必须采用扁平结构。

    另一个独特之处便是其开关模块，根据一个模块用于多个派生型的原理，可通过一个气路板实现两种不同的排列形式（"线路图"）。Festo提供的这一气路板同样是预先装配好且经过测试的。每个设备上一共安装了四个模块，为Multitest降低装配和质量控制成本提供了巨大的潜力。对于100单元左右的小型生产线而言，这一模块也是一个性价比非常高的方案。可以避免由于需要在如此有限的空间内安装气管系统而引发的一系列问题。