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气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中的主要技术特点、质量标准及工作原理是什么?

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气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中的主要技术特点、质量标准及工作原理是什么?

发布日期:2015-12-19 00:00 来源:http://www.putfine.com 点击:

气源柜

气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中的主要技术特点、质量标准及工作原理是什么?

气源柜

产品简介:设备用于放置工艺气体源瓶。

 

产品详细描述:

1、柜内可放置多个气源瓶;

2、配有相应气体的控制气路板;

3、管路上配有阀门及接头,有国产件及进口件两种配置;

4、柜体密封性好,顶部装有排风口,保证安全。


气源柜式特种气体配置应用是在输入过程中,对气压调解,流量控制,气体纯度保 ,人体安全保障等必备的关键性设备。不同生产工艺所使用的气体不同,气源柜功能也各有特异。


气瓶柜/气瓶架采用国际通行的质量标准及工作原理,保证高纯易燃易爆腐蚀有毒气体安全地为相应的设备提供工艺气体。  

功能:正常工艺供气、换瓶的抽空回充、工艺结束的排空回充及正常使用的工作状态指示、异常报警(如负压异常、泄露、烟雾火等等)及相应的安全关联响应等。排空一般采用的是文丘里原理(根据客户要求可采用真空泵排空方式等)。  

气瓶柜装有安全防爆玻璃,气路管件均采用进口优质的管道(EP级SWAGELOK自动轨道焊接等)、阀门、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ,泄漏检测、延误火报警均采用优质品牌。  


主要技术特点  

◆按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)  

◆按气体分类:气瓶柜(易燃易爆腐蚀有毒高纯气体)、气瓶架(高纯气体,如高纯氧气、氩气等)  

◆完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)、烟雾、火报警等  

◆控制方式:“触摸屏+PLC”全自动控制(含手动控制)  

◆气路管件:全部进口,管道为EP级(CARDINAL/SANDVIK)、 阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、减压阀为PARK或相当、全部VCR接口及自动轨道焊接  

◆气瓶柜留有排气口,并具有负压检测  

◆气路设计合理完善,工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能  

◆气瓶柜内装有气瓶称重装置,可即时观察气瓶重量


气源柜作为等离子刻蚀、化学气相沉积、金属溅射、实验室检测设备等的工艺气供气气源装置,适合于输送高纯、有毒、易燃易爆、具有一般腐蚀性的介质。根据不同使用要求可配置为手动、自动控制方式,及高沸点介质加温装置。 贮气罐 适用于贮存具有高纯、有毒、易燃易爆、一般腐蚀性的半导体工艺气、混合气、标样气等。

相关标签:气体纯化装置

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