一种具有进气口、出气口、气体净化装置的气体净化装置，包括通过管道依次连接的加热装置、除烃反应器、除氧反应器、冷却器、干吸附器、加热装置、除烃反应器、除氧反应器、冷却器、干吸附器均有进气端和出气端，加热装置的进气端与进气口连接，加热装置的出气端与除烃反应器的进气端连接，除烃反应器的出气端与除氧反应器的进气端连接，除氧反应器的出气端与冷却器的进气端连接，冷却器的出气端与干吸附器的进气端连接，干吸附器的出气端与出气口连接；除烃反应器装有CHO型脱烃剂，除氧反应器装有高效催化剂。本实用新型工艺简单，操作简单，可靠性高，可获得小气量高纯度气体，具有很大的推广价值。

  气体纯化器的纯化基质是一种无挥发性吸附合金，熔化性好，稳定性高，使用安全简单。可实现5n秒到9n，使纯化性能有质的飞跃。当您的仪器配备*双段加热吸收技术（单段可选）纯化系统时，可有效提高性能和使用寿命。可用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪（GC）、常压离子质谱仪（APIMS）等气体分析仪，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的氩气和验收中的吹扫气体；为许多半导体工艺设备提供超高纯度的工艺气体。