配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要核心部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，精确控制各个气体组成成分的输入量，经由专业设计及生产的混气腔室后输出。

特气自动配气（稀释）装置?

使用气体：硅烷、硼烷、磷烷、氯气等特殊气体?工作压差：（0.1~0.3）Mpa?最高使用压力：1Mpa?

单元控制精度：±1%S.P（设定点）?工作温度：?-20℃~70℃?单元流量：2SCCM??~?10SLM?

主要技术特性

流量范围：（样气＋稀释气）（0－5000）ml/min （任选）

浓度范围：通过选择组分气体的含量便可配制出10-8－百分含量的任何标准气体，随意可调

流量精度（重复性）：＜0.5%

转换浓度响应时间：＜60s

配气不确定度：＜1.5%

预热时间：＜30min

使用环境温度：0～40℃（最佳温度25±5℃）

尺寸：450×400×180mm

电源：220VAC    50/60Hz